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適用于60系列 半導體工藝產品特點分析

發(fā)布時間:2023-11-21 點擊量:779

適用于60系列 半導體工藝產品特點分析

介紹Flowel株式會社的各種產品,包括多年來受到半導體行業(yè)和其他行業(yè)好評的“氟樹脂接頭"。

60年代
適用于60系列
半導體工藝

可提供專用夾具
?高性能擴口型接頭
?優(yōu)異的液體置換特性
?用途:涂布機、顯影機

特征

采用國內的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結構,接近地滿足客戶的要求:清潔安全、不積液、不泄漏、無需重新擰緊,性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。

  • 高性能火炬配件

  • 本體前端及螺母內部進行錐度加工的結構

  • 顯著改善液體替代特性

  • 準備兩種類型的施工方法:冷火炬和熱火炬。

  • 最高工作溫度:100℃

  • 適用管材尺寸: φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″

相關工具

擴管時需要特殊工具。有兩種施工方法:“冷"和“熱"。

?冷喇叭口:在室溫下執(zhí)行的安裝方法(杠桿式)
?熱喇叭口:在加熱條件下執(zhí)行的安裝方法(杠桿式、手持式)

“專用工具"有兩種類型:

?杠桿式:杠桿式夾具將杠桿原理應用于擴口管,因此任何人都可以輕松且均勻地擴口管。
?手持式:熱火炬施工專用的手持式夾具。用熱風槍加熱管子,使管子張開。
適用于管道長度較短和工作區(qū)域較少的情況。


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