露點儀在半導體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

測量氣體中的水蒸氣露點溫度的儀器叫做露點儀。露點儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同，可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動檢測露層的平衡式精密露點儀在半導體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。

露點儀在半導體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測作用。半導體芯片的生產(chǎn)是在凈化間內(nèi)進行的。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度（RH）這一項，一年內(nèi)控制點的范圍從35%到65%，精度2%（70℃以下）濕度超標會影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計劃的完成。

在半導體芯片生產(chǎn)區(qū)，濕度不穩(wěn)定，會出現(xiàn)很多問題。最典型的問題是烘干期延長，整個處理過程變得難以控制。當相對濕度高于35%時，元件易被腐蝕。此外，將顯影液噴在芯片表面時，顯影液迅速揮發(fā)，使芯片表面溫度下降，致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會影響顯影特性，還會吸收到半導體內(nèi)，這將導致膨化及其它質(zhì)量缺陷，還必須增加一些不必要的工藝控制。

TK-100在線露點儀

過去 40 年來，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設(shè)備（主要是露點計）。電容式（阻抗式）露點儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產(chǎn)品，用于測量露點或水分含量。
TK-100在線露點儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的一套，因此您可以輕松開始測量露點。