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ceratech真空吸盤(pán)（多孔吸盤(pán)）產(chǎn)品介紹
制造方法提高了多孔部分和基部之間的粘合性，并且即使在邊界處也形成了足夠平坦的表面。
因此，可以在晶片減薄工藝和需要大型基板的全表面吸附的制造工藝中提供高生產(chǎn)率和可靠性。
多孔體可以根據(jù)用戶需求靈活選擇材料和孔徑。
還可以在陶瓷底座中設(shè)置中空凹槽以用于冷卻目的。
晶圓減薄工藝的加工夾具（研磨機(jī)、拋光機(jī)、CMP）
各種測(cè)量裝置、檢查裝置的固定夾具
用于加工薄膜片材、金屬基材等的固定夾具
*根據(jù)用途也可提供表面涂層。 （脫模涂層、導(dǎo)電涂層等）
| 型號(hào) | 密度g/ cm3 | 彈性模量GPa | 彎曲強(qiáng)度MPa | 熱膨脹系數(shù)×10 -6 /K | 導(dǎo)熱系數(shù)W/m?K | 電阻值Ω·cm | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 氧化鋁 | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 7.3 | 30 | >10 14 |
| 多孔氧化鋁 | - | 2.5 | 55 | 50 | 7.4 | - | 10 11 |
| 碳化硅 | 標(biāo)準(zhǔn)品 | 3.1 | 410 | 500 | 4.6 | 170 | 10 6 |
| 多孔碳化硅 | - | 2.1 | 55 | 50 | 4.7 | - | 10 6 |
通過(guò)對(duì)多孔體施加負(fù)壓來(lái)吸附并固定被吸附物。
陶瓷內(nèi)部形成中空結(jié)構(gòu)，因此無(wú)需擔(dān)心泄漏。
