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日本NGK半導體行業(yè)用靜電Chuck產品介紹

發(fā)布時間:2025-05-12 點擊量:63

概述

靜電Chuck

它在強度,熱傳導和熱量沖擊方面表現(xiàn)出色。我們的音量阻力控制技術允許廣泛的溫度范圍。

特征

廣泛的溫度支持范圍(-50至700℃)

它具有高強度,高熱電導率和高熱沖擊性。陶瓷用作介電底物,音量電阻率控制允許多種低溫,中和高溫。

耐腐蝕性

它具有的對鹵素氣體(例如氟基氣)的耐腐蝕性。

晶片背面的低粒子加工

通過表面處理和特殊清潔,它可以達到低粒徑。

高純度

它可以適應99.9%或更多的純度。

功能

除了晶圓吸附函數(shù)外,Nippon Gaishi的靜電Chuck還可以添加各種功能。

加熱

高度精確的加熱元件掩埋技術使與陶瓷加熱器集成成為可能,從而達到晶圓表面溫度以下±1%。

冷卻

通過將陶瓷板粘合并連接給冷卻板的陶瓷板,它具有的冷卻性能。

RF電流兼容的散裝電極

散裝電極同時提供了晶圓和RF等離子體產生的簡單穩(wěn)定的吸附。

規(guī)格

尺寸與200mm,300mm和450mm晶片兼容
吸附機制(Aln),庫侖
(AL2O3)
電極形狀雙極或單極

Aln的材料特性

[典型價值]

 氮化鋁
HA-12HA-37/38HA-50/51
純度(%)959999
密度[g/cc]3.33.33.3
音量電阻率[ωCM](RT)> 1E+151E+8?+13> 1E+15
導熱率[W/MK](RT)17010080
熱擴展系統(tǒng)的數(shù)量(RT)5.7(1000℃)5.6(1000℃)5.6(1000℃)
力量[MPA](RT)> 300> 300> 250
年輕的速度[GPA](RT)300300300
介電常數(shù)(13.56MHz,RT)8.68.88.6
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